芯慧聯(lián)集成電路工藝設(shè)備研發(fā)制造基地項(xiàng)目在無錫正式奠基。該項(xiàng)目總投資50億元，總建筑面積約14萬平方米，建成后將聚焦涂膠顯影設(shè)備、高端濕法設(shè)備及半導(dǎo)體用機(jī)械手等核心設(shè)備的研發(fā)與制造。項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后，預(yù)計(jì)可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)300臺(tái)(套)半導(dǎo)體核心設(shè)備的生產(chǎn)能力，將有力提升我國(guó)在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的自主可控水平。該基地的建設(shè)標(biāo)志著芯慧聯(lián)在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的戰(zhàn)略布局邁出重要一步，有望填補(bǔ)國(guó)內(nèi)相關(guān)技術(shù)空白，為集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程注入新動(dòng)能。
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