中微公司首臺Primo Menova 12寸金屬刻蝕設(shè)備交付國內(nèi)頭部晶圓廠
極客網(wǎng)24日訊 中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司今日宣布，其自主研發(fā)的Primo Menova 12英寸金屬刻蝕設(shè)備首臺機已成功交付國內(nèi)某重要集成電路制造服務(wù)商。該設(shè)備采用先進(jìn)等離子體刻蝕技術(shù)，專為金屬Al線/Al塊刻蝕工藝優(yōu)化設(shè)計，工藝窗口寬泛，刻蝕均勻性優(yōu)異。
作為晶圓廠金屬化工藝核心裝備，Primo Menova可滿足功率半導(dǎo)體、存儲芯片及先進(jìn)邏輯器件制造需求。其成功交付標(biāo)志著國產(chǎn)高端刻蝕設(shè)備在金屬刻蝕領(lǐng)域取得重要突破，將有效提升國內(nèi)晶圓廠在關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)的自主可控能力。
行業(yè)分析師指出，該設(shè)備量產(chǎn)應(yīng)用將助力國內(nèi)客戶突破金屬互連工藝瓶頸，對完善本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈具有重要意義。中微公司表示將持續(xù)深化技術(shù)創(chuàng)新，為全球客戶提供更具競爭力的半導(dǎo)體裝備解決方案。
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