11月30日消息，近日，合肥微睿光電科技有限公司完成由三行資本與石溪資本聯(lián)合領(lǐng)投，元禾辰坤、燕創(chuàng)資本等多家機(jī)構(gòu)參與的數(shù)億元B輪融資。
中國泛半導(dǎo)體產(chǎn)能仍處于擴(kuò)張周期，京東方、華星等客戶都有一座以上LCD工廠的新建或大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)計劃;OLED工廠產(chǎn)能快速釋放，普遍采用7-MASK工藝，對腔室部件的需求量進(jìn)一步提升;SEMI預(yù)計到2022年全球?qū)⑿陆?9座晶圓廠，超過一半將位于中國。
CVD、PVD、Dry機(jī)臺是泛半導(dǎo)體的主工藝設(shè)備，腔室內(nèi)部件需要周期性的維護(hù)再生和新品采購，包括上下部電極、Diffuser、Susceptor、Shadow Frame、Backing Plate等等，涉及工藝包括陽極氧化、陶瓷coating等等，對成膜均勻度、厚度一致性等有非常高的要求，長期以來受制于設(shè)備原廠和傳統(tǒng)外資配套廠商的制約。
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