荷蘭ASML公司近日在官網(wǎng)宣布，完成了用于5nm及更先進(jìn)工藝的第一代HMI多光束檢測機(jī)HMI eScan1000的測試。
據(jù)介紹，HMI eScan1000能夠同時產(chǎn)生、控制九道電子束，與單個電子束檢查工具相比，將使吞吐量提高達(dá)600％。
IT之家了解到，新的MBI系統(tǒng)包括一個電子光學(xué)系統(tǒng)，能夠創(chuàng)建和控制多個初級電子波束，然后收集和處理產(chǎn)生的次級電子波束，將波束之間的串?dāng)_限制在2%以內(nèi)，并提供一致的成像質(zhì)量。它還具有提高系統(tǒng)總體吞吐量的高速階段和實(shí)時處理來自多個波束的數(shù)據(jù)流的高速計(jì)算體系結(jié)構(gòu)。
目前，首臺多波束檢測系統(tǒng)已于本周交付客戶進(jìn)行鑒定。ASML計(jì)劃增加光束數(shù)量和光束分辨率，以滿足未來幾代芯片制造商的產(chǎn)品路線圖要求。
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