極客網(wǎng)·極客觀察4月2日 1984年的時候，光刻機巨頭ASML曾在一天之內(nèi)設(shè)定產(chǎn)品路線圖，這段往事值得我們好好回味。
1984年11月中旬，ASML經(jīng)理、高級工程師坐上大巴，往北行駛。20人在維多利亞酒店（位于凡高國家森林公園附近）呆了2天，進行團隊建設(shè)、培訓(xùn)。他們要奮力追趕，加速前進?？傊?，大家的目標就是讓新機器早一點做好準備。
當時飛利浦半導(dǎo)體和材料部(以下簡稱Elcoma)希望能在1986年4月1日拿到PAS 2500光刻機，然后ASML想在國際半導(dǎo)體展覽會Semicon West上展示機器。也就是說ASML只有一年多的時間設(shè)計、制造新系統(tǒng)。ASML總經(jīng)理Gjalt Smit給團隊定出最后期限：1986年1月1日。高管們討論著如何讓計劃變成現(xiàn)實。
前兩代機器均為接觸接近式光刻機，曝光方式為接觸接近式，使用光源分別為g-line和i-line。從80年代開始芯片產(chǎn)業(yè)使用的是g-line，ASML要引入i-line。當時ASML已經(jīng)挑選好了技術(shù)，也就是i-line，接下來要全速前進。
培訓(xùn)開始的第一天，兩名來自飛利浦的培訓(xùn)員講課，他們告訴大家如何以更快的速度將創(chuàng)意變成機器。如果是在飛利浦，整個流程一般要9-12年時間，這次他們拿出新方案，可以將時間縮短為7年。不過如果ASML想達到Elcoma設(shè)定的目標，擁有的時間只有一年多。
第二天，培訓(xùn)繼續(xù)，但Gjalt Smit闖了進來，他告訴大家培訓(xùn)結(jié)束了。就在前一天晚上，Gjalt Smit剛拜訪完美國客戶，坐飛機回來。他說：沒有時間了，整個團隊必須重新思考產(chǎn)品路線圖。
Gjalt Smit指出，如果繼續(xù)開發(fā)i-line光刻機，公司也許可以成為科技領(lǐng)先者，但這樣的機器不會有人買，因為整個行業(yè)的基礎(chǔ)設(shè)施、材料全部是以g-line作為基礎(chǔ)的。Gjalt Smit希望大家開發(fā)一臺光刻機，在1985年的Semicon West展會上展示。大家心想：你丫的瘋了嗎？只給6個月開發(fā)新機器，怎么可能？
大家討價還價，Gjalt Smit不愿意妥協(xié)，截止日期不能變，必須在預(yù)定時間內(nèi)開發(fā)出PSA 2500。當時Martin van den Brink也參加了會議，他是一名新手（現(xiàn)在是ASML CTO）。Brink 2015年8月回憶說：“當時Gjalt Smit強迫我們加速前進，剛下飛機就給出讓人為難的命令，我心想：為什么他要這樣做？現(xiàn)在回想起來，那會真是到了關(guān)鍵時刻。我們與大學(xué)生坐在一起，他們彼此不認識，沒有一個人知道光刻機是怎么回事?，F(xiàn)在回想起來恍如昨日?！?/p>
開發(fā)軟件的Wim Hendriksen也參加了會議，他回憶道：“當時Gjalt告訴我們說：客戶希望早一點交貨。作為腳踏實地的荷蘭人，我們與客戶沒什么聯(lián)系，但Gjalt與他們在溝通。所以他闖進培訓(xùn)室，將一切推倒重來。他說：必須在1985年5月之前拿出機器，否則我們就會破產(chǎn)。那一天的培訓(xùn)以混亂結(jié)束。當我們離開大樓時，紙文件堆了一米高。討論是有意義的，我們有一套可行的方案?！?/p>
當時ASML的光刻機是以油驅(qū)動的，新方案將油換成了電。電技術(shù)已經(jīng)存在，但ASML并沒有使用。飛利浦研究實驗室已經(jīng)從概念上驗證過引入直線電機的可能性，但沒有轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品。根據(jù)這一概念，ASML開發(fā)出PAS 2400，它相當于過渡產(chǎn)品。從本質(zhì)上講，就是把PAS 2000光刻機與由直線電機控制的圓晶臺結(jié)合在一起。
在1985年的Semicon West展會上，AMD、Cypress、National Semiconductor表示對PAS 2400感興趣。后來AMD挑了四家公司供貨，ASML是其中之一。
這段往事告訴我們，服務(wù)客戶時，沒有必要時時刻刻追求100%完美，只要效率足夠好，有時機器有些缺點也是可以接受的。走過創(chuàng)業(yè)階段之后，AMSL要與競爭對手搶市場，它的宗旨就是及時為客戶提供正確的技術(shù)，制造最可靠的機器并不是最重要的。自PAS2400之后的每一代機器都是這樣的，一直到EUV?？蛻裟玫叫聶C器，有時接下來幾年都不好用，但它們還是愿意購買。為什么ASML還要生產(chǎn)呢？因為它想傳達一個信號：我們?nèi)栽谘刂柖汕斑M！
希望這個老故事能給中國的光刻機研究人員帶來參考。（小刀）
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